單晶硅諧振式變送器的特點
EJA變送器與羅斯蒙特變送器雖然都是世界一流的變送器品牌,但是它們采用的傳感器技術卻完全不一樣,電容式壓力傳感器是一種比較傳統(tǒng)的測量技術,而單晶硅諧振式傳感器是一種新的傳感器技術,目前EJA變送器的精度與羅斯蒙特變送器的精度差不多,是什么讓EJA變送器能夠與羅斯蒙特變送器站在一起呢?這就不得不提到單晶硅諧振式變送器的特點了。
下面總結一下幾種常用的壓力傳感器類別:
1、電位器式,這種傳感器結構簡單,精度高、重量輕、性能穩(wěn)定,但是要求輸入能量大、電刷與電阻元件之間容易磨損。
2、應變式傳感器,這種常見的有絲式電阻應變片和箔式電阻應變片兩種,擁有分辨力高、誤差較小、尺寸小、重量輕、測量范圍大,既可測靜態(tài)也可測快速交變應里,具有電氣測量的一切優(yōu)點。
3、霍爾式傳感器,特點是可以測量任意波形的電流和電壓,精度高,在工作溫度區(qū)內精度優(yōu)于1%,該精度適合于任何波形的測量。需要注意的是霍爾傳感器具有較強的抗外磁場干擾能力,但是為了獲得較高的測量準確度,要采用調整模塊方向或在模塊上加罩一個抗磁場的金屬屏蔽罩。
4、氣膜式傳感器,這種傳感器精度一般,而且安裝復雜且維護困難。
5、壓電式傳感器,結構簡單、體積小、質量小、功耗小、壽命長、特別是具有良好的動態(tài)特性,因此合適有很寬頻帶的周期作用力和高速變化的沖擊力。
6、壓阻式傳感器的靈敏度比金屬絲式應變片的靈敏度高,其精度好,而且響應頻率好,工作可靠。缺點是受溫度影響較大,應進行溫度補償壓阻效應是物質受外力作用發(fā)生變形時,其電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。
7、電容式傳感器,高阻抗小功率、溫度穩(wěn)定性好、結構簡單、適應性強、動態(tài)響應好、可以實現(xiàn)非接觸測量,缺點就是輸出阻抗高,負載能力差,寄生電容影響大,羅斯蒙特就是用的這種技術。
8、諧振式傳感器,橫河EJA變送器采用的就是這種技術,優(yōu)點是體積小、重量輕、結構緊湊、分辨率高、精度高以及便于數(shù)據(jù)傳輸、處理和存儲等。
特別是微機械處理單晶硅,可以提高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性,消除滯后現(xiàn)象,溫度的影響是其他硅技術(10 ppm/℃)的十分之一弱,因此即使是條件最苛刻的過程應用中都可以確保出色的穩(wěn)定性。相比模擬傳感器,硅諧振傳感器輸出可以產生更高的信噪比。硅諧振傳感器的輸出至少是其前任產品壓阻式硅傳感器的四倍。溫度和靜壓產生的誤差在整體輸出中可忽略不計。 橫河電機DPharp壓力變送器和MT100/200數(shù)字壓力計中應用了這一先進的傳感器技術。
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